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1. (WO2018142036) SOURCE DE PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/142036    International Application No.:    PCT/FR2017/053798
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 22 00:59:59 CET 2017
IPC: H05H 1/46
Applicants: POLYGON PHYSICS
Inventors: SORTAIS, Pascal
Title: SOURCE DE PLASMA
Abstract:
L'invention concerne une source de plasma comprenant une antenne (204) quart d'onde située dans une enceinte cylindrique (202) munie d'une ouverture (208) en face de l'extrémité de l'antenne (204), dans laquelle : le diamètre (d) de l'antenne (204) est compris entre le tiers et le quart du diamètre (d) interne de l'enceinte (202), la distance (l) entre l'extrémité de l'antenne (204) et l'ouverture (208) est comprise entre 2/3 et 5/3 du diamètre (d) de l'antenne (204).