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1. (WO2018141944) COMPOSITION AQUEUSE SEMI-CONDUCTRICE ET UTILISATION DE CETTE COMPOSITION
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N° de publication : WO/2018/141944 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/052726
Date de publication : 09.08.2018 Date de dépôt international : 05.02.2018
CIB :
G03F 7/40 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
26
Traitement des matériaux photosensibles; Appareillages à cet effet
40
Traitement après le dépouillement selon l'image, p.ex. émaillage
Déposants :
MERCK PATENT GMBH [DE/DE]; Frankfurter Strasse 250 64293 Darmstadt, DE
Inventeurs :
YAMAMOTO, Kazuma; JP
NAGAHARA, Tatsuro; JP
SEKITO, Takashi; JP
YASHIMA, Tomoyasu; JP
ISHII, Maki; JP
Données relatives à la priorité :
2017-01987106.02.2017JP
Titre (EN) SEMICONDUCTOR AQUEOUS COMPOSITION AND USE OF THE SAME
(FR) COMPOSITION AQUEUSE SEMI-CONDUCTRICE ET UTILISATION DE CETTE COMPOSITION
Abrégé :
(EN) Problem: To provide a semiconductor aqueous composition which comprises a surfactant having high solubility in water and does not adversely affect a pattern shape. To provide a method for producing a resist pattern and a method for manufacturing a semiconductor, using the composition. Means for Solution: A semiconductor aqueous composition comprising:a surfactant comprising an organic compound comprising a ring structure, said ring structure comprising peptide,or a salt thereof, and water. A method for producing a resist pattern and a method for manufacturing a semiconductor, using the same.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est : de pourvoir à une composition aqueuse semi-conductrice qui comprend un agent tensioactif ayant une solubilité élevée dans l'eau et qui n'altère pas une forme de motif ; et de pourvoir à un procédé qui permet de produire un motif de réserve et à un procédé qui permet de fabriquer un semi-conducteur, à l'aide de la composition. La solution selon l'invention porte sur : une composition aqueuse semi-conductrice comprenant un agent tensioactif qui comporte un composé organique comprenant une structure cyclique, ladite structure cyclique incluant un peptide, ou un sel de celui-ci, et de l'eau ; et un procédé qui permet de produire un motif de réserve et un procédé qui permet de fabriquer un semi-conducteur, à l'aide de cette composition.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)