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1. (WO2018141382) INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D’UNE INSTALLATION
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N° de publication : WO/2018/141382 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/052173
Date de publication : 09.08.2018 Date de dépôt international : 01.02.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH[DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen, DE
Inventeurs : HOLZ, Markus; DE
BIHR, Ulrich; DE
Mandataire : HORN KLEIMANN WAITZHOFER PATENTANWÄLTE PARTG MBB; Ganghoferstr. 29a 80339 München, DE
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SYSTEM AND METHOD FOR OPERATING A SYSTEM
(FR) INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D’UNE INSTALLATION
(DE) ANLAGE UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER ANLAGE
Abrégé :
(EN) The invention relates to a system (100) which has a radiation source (106A) for generating radiation; a plurality of optical elements (110, 112, 114, 116, 118) for guiding the radiation in the system (100); a number N1 of assemblies (210 - 260), where N1 ≥ 1, wherein each of the N1 assemblies (210 - 260) comprises at least one actuator/sensor device (311 - 31N; 321 - 32N, 331 - 33N; 341 - 34N; 351 - 35N; 361 - 36N) which is paired with one of the optical elements (110, 112, 114, 116, 118); a plurality N2 of local actuation units (410, 420, 430, 440, 450, 460) for actuating the number N1 of assemblies (210 - 260), where N2 ≥ 2; and a number N3 of central actuation units (510, 520) for actuating the N2 local actuation units (410, 420, 430, 440, 450, 460), where N3 ≥ 1. Thus, hot spots are prevented and the heat distribution is harmonized and optimized. Furthermore, redundant actuation possibilities for the actuator/sensor devices are provided, said actuation possibilities increasing the availability of the system in the event of a malfunction.
(FR) L’invention concerne une installation (100), laquelle comporte une source de rayonnement (106A) pour la production d’un rayonnement, une pluralité de composants optiques (110, 112, 114, 116, 118) pour le guidage du rayonnement dans l’installation (100), un nombre (N1) d’agencements (210-260), avec N1 ≥ 1, chacun des N1 agencements (210-260) comprenant au moins un dispositif d’actionneurs/capteurs (311-31N ; 321-32N, 331-33N ; 341-34N ; 351-35N ; 361-36N), lequel est associé à un des composants optiques (110, 112, 114, 116, 118), une pluralité (N2) d’unités de commande locales (410, 420, 430, 440, 450, 460) destinées à commander le nombre (N1) d’agencements (210-260), avec N2 ≥ 2, et un nombre (N3) d’unités de commande centrales (510, 520) destinées à commander les N2 unités de commande locales (410, 420, 430, 440, 450, 460), avec N3 ≥ 1. Des points chauds sont ainsi évités, la répartition de chaleur est harmonisée et optimisée. Des possibilités redondantes de commande pour les dispositifs d’actionneurs/capteurs qui augmentent la disponibilité de l’installation en cas de panne sont également mises en œuvre.
(DE) Es wird eine Anlage (100) vorgeschlagen, welche eine Strahlungsquelle (106A) zur Erzeugung einer Strahlung, eine Mehrzahl von optischen Bauelementen (110, 112, 114, 116, 118) zur Führung der Strahlung in der Anlage (100), eine Anzahl N1 von Anordnungen (210 - 260), mit N1 ≥ 1, wobei jede der N1 Anordnungen (210 - 260) zumindest eine Aktor-/Sensor- Einrichtung (311 - 31N; 321 - 32N, 331 - 33N; 341 - 34N; 351 - 35N; 361 - 36N) umfasst, welche einem der optischen Bauelemente (110, 112, 114, 116, 118) zugeordnet ist, eine Mehrzahl N2 von lokalen Ansteuereinheiten (410, 420, 430, 440, 450, 460) zum Ansteuern der Anzahl N1 von Anordnungen (210 - 260), mit N2 ≥ 2, und eine Anzahl N3 von zentralen Ansteuereinheiten (510, 520) zum Ansteuern der N2 lokalen Ansteuereinheiten (410, 420, 430, 440, 450, 460), mit N3 ≥ 1, aufweist. Dadurch werden Wärmespots vermieden, die Wärmeverteilung wird harmonisiert und optimiert. Ferner werden redundante Ansteuermöglichkeiten für die Aktor-/Sensoreinrichtungen geschaffen, die im Fehlerfall die Verfügbarkeit der Anlage erhöhen.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)