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1. (WO2018141365) AGENCEMENT POUR DÉPÔT DE MATÉRIAU, SYSTÈME DE DÉPÔT SOUS VIDE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2018/141365    International Application No.:    PCT/EP2017/052048
Publication Date: Fri Aug 10 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Feb 01 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/24
C23C 14/54
H01L 51/00
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
SALUGU, Srinivas
BANGERT, Stefan
KELLER, Stefan
Inventors: SALUGU, Srinivas
BANGERT, Stefan
KELLER, Stefan
Title: AGENCEMENT POUR DÉPÔT DE MATÉRIAU, SYSTÈME DE DÉPÔT SOUS VIDE ET PROCÉDÉ ASSOCIÉ
Abstract:
L'invention concerne un agencement pour dépôt de matériau (100) permettant de déposer un matériau sur un substrat dans une chambre de dépôt sous vide. L'agencement pour dépôt de matériau comprend au moins une source de dépôt de matériau comportant un creuset (110) conçu pour faire s'évaporer le matériau, un ensemble distribution (120) relié au creuset, où l'ensemble distribution est conçu pour amener le matériau évaporé jusqu'au substrat, et une soupape (130) conçue pour réguler un flux de matériau évaporé depuis le creuset (110) jusqu'à l'ensemble distribution (120).