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1. (WO2018140903) SYSTÈMES FIB-SEM AMÉLIORÉS POUR IMAGERIE 3D DE GRAND VOLUME

Pub. No.:    WO/2018/140903    International Application No.:    PCT/US2018/015798
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Jan 30 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 37/02
H01J 37/28
Applicants: HOWARD HUGHES MEDICAL INSTITUTE
Inventors: XU, C., Shan
HAYWORTH, Kenneth, J.
HESS, Harald, F.
Title: SYSTÈMES FIB-SEM AMÉLIORÉS POUR IMAGERIE 3D DE GRAND VOLUME
Abstract:
Un système de microscopie permettant d'imager un échantillon peut comprendre un système de microscope électronique à balayage conçu pour imager une couche de surface de l'échantillon et un système à faisceau ionique focalisé conçu pour générer un faisceau ionique permettant de broyer la couche de surface à l'écart d'un échantillon une fois réalisée l'imagerie. Un obturateur mécanique mobile peut être conçu pour être déplacé automatiquement dans une position entre l'échantillon et le système de microscope électronique à balayage, de sorte que, lorsque le faisceau électronique ne réalise pas une imagerie de l'échantillon, l'obturateur mécanique mobile soit positionné entre l'échantillon et le système de microscope électronique à balayage.