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1. (WO2018140810) SPECTROGRAPHE À LARGE BANDE

Pub. No.:    WO/2018/140810    International Application No.:    PCT/US2018/015575
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 27 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 21/33
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: GROSS, Kenneth P
Title: SPECTROGRAPHE À LARGE BANDE
Abstract:
L'invention concerne un appareil spectrographe à large bande comprenant un premier ensemble spectrographe et un ou plusieurs ensembles spectrographe suivants. Chaque ensemble spectrographe suivant est couplé optiquement à un ensemble spectrographe précédent et est conçu pour recevoir un faisceau en cascade en provenance d'un ou plusieurs éléments de dispersion de l'ensemble spectrographe précédent. Le premier ensemble spectrographe est conçu pour détecter un éclairage dans une première plage de longueurs d'onde et lesdits ensembles spectrographe suivants sont conçus pour détecter un éclairage dans des plages de longueurs d'onde différentes de la première ou de toute plage de longueurs d'onde précédente afin de fournir un échantillonnage simultané de différentes parties spectrales d'un faisceau d'entrée.