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1. (WO2018140769) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE COMPENSATION DE POSITION D'APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
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N° de publication : WO/2018/140769 N° de la demande internationale : PCT/US2018/015512
Date de publication : 02.08.2018 Date de dépôt international : 26.01.2018
CIB :
H01L 21/677 (2006.01) ,B25J 9/00 (2006.01) ,B25J 9/02 (2006.01) ,B25J 9/06 (2006.01) ,B25J 11/00 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
67
Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide pendant leur fabrication ou leur traitement; Appareils spécialement adaptés pour la manipulation des plaquettes pendant la fabrication ou le traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou des dispositifs électriques à l'état solide ou de leurs composants
677
pour le transport, p.ex. entre différents postes de travail
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9
Manipulateurs à commande programmée
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9
Manipulateurs à commande programmée
02
caractérisés par le mouvement des bras, p.ex. du type à coordonnées cartésiennes
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
9
Manipulateurs à commande programmée
06
caractérisés par des bras à articulations multiples
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
25
OUTILS À MAIN; OUTILS PORTATIFS À MOTEUR; MANCHES POUR USTENSILES À MAIN; OUTILLAGE D'ATELIER; MANIPULATEURS
J
MANIPULATEURS; ENCEINTES À DISPOSITIFS DE MANIPULATION INTÉGRÉS
11
Manipulateurs non prévus ailleurs
Déposants :
BROOKS AUTOMATION, INC. [US/US]; 15 Elizabeth Drive Chelmsford, MA 01824, US
Inventeurs :
MOURA, Jairo T.; US
CAVENEY, Robert T.; US
YING, Bing; US
SPIKER, Nathan; US
TSANG, Vincent W.; US
Mandataire :
MARCOVICI, Janik; Perman & Green, LLP 99 Hawley Lane Stratford, CT 01664, US
Données relatives à la priorité :
15/880,38725.01.2018US
62/450,81826.01.2017US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS POSITION COMPENSATION
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL DE COMPENSATION DE POSITION D'APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRAT
Abrégé :
(EN) A substrate transport empiric arm droop mapping apparatus for a substrate transport system of a processing tool, the mapping apparatus including: a frame, an interface disposed on the frame forming datum features representative of a substrate transport space in the processing tool defined by the substrate transport system, a substrate transport arm, that is articulated and has a substrate holder, mounted to the frame in a predetermined relation to at least one of the datum features, and a registration system disposed with respect to the substrate transport arm and at least one datum feature so that the registration system registers, in an arm droop distance register, empiric arm droop distance, due to arm droop changes, between a first arm position and a second arm position different than the first arm position and in which the substrate holder is moved in the transport space along at least one axis of motion.
(FR) Un appareil de mise en correspondance de chute de bras empirique de transport de substrat pour un système de transport de substrat d'un outil de traitement, l'appareil de mise en correspondance comprenant : un cadre, une interface disposée sur le cadre formant des éléments de référence représentant un espace de transport de substrat dans l'outil de traitement défini par le système de transport de substrat, un bras de transport de substrat, qui est articulé et a un support de substrat, monté sur le cadre dans une relation prédéterminée par rapport à au moins l'un des éléments de référence, et un système d'enregistrement disposé par rapport au bras de transport de substrat et au moins un élément de référence de telle sorte que le système d'enregistrement enregistre, dans un registre de distance de chute de bras, une distance de chute de bras empirique, en raison de changements de chute de bras, entre une première position de bras et une seconde position de bras différente de la première position de bras et dans laquelle le support de substrat est déplacé dans l'espace de transport le long d'au moins un axe de mouvement.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)