Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018140534) COMMANDE DU RECOUVREMENT AVEC PRÉDICTION DES DÉCALAGES NON NULS

Pub. No.:    WO/2018/140534    International Application No.:    PCT/US2018/015104
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Jan 25 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/20
H01L 21/027
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: ADEL, Michael A.
MANASSEN, Amnon
PIERSON, William
LEVY, Ady
SUBRAHMANYAN, Pradeep
YERUSHALMI, Liran
CHOI, Dongsub
HEO, Hoyoung
ALUMOT, Dror
ROBINSON, John
Title: COMMANDE DU RECOUVREMENT AVEC PRÉDICTION DES DÉCALAGES NON NULS
Abstract:
L'invention concerne un système de commande de processus pouvant comprendre un dispositif de commande configuré pour : recevoir des données d'inspection après développement (ADI), après une étape de lithographie relative à la couche en cours de réalisation, en provenance d'un outil d'ADI ; recevoir des données de recouvrement obtenues lors de l'inspection après gravure (AEI), après une étape d'exposition de la couche en cours de réalisation, en provenance d'un outil d'AEI ; entraîner un prédicteur de décalage non nul avec des données d'ADI et des données de recouvrement d'AEI pour prédire un décalage non nul à partir de données d'ADI d'entrée ; générer des valeurs des paramètres de commande de l'outil de lithographie à l'aide de données d'ADI et de décalages non nuls générés par le prédicteur de décalages non nuls, et fournir les valeurs des paramètres de commande à l'outil de lithographie pour réaliser ladite couche sur le(s) échantillon(s) de production.