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1. (WO2018140430) PROCÉDÉ DE FORMATION DE COUCHE MÉTALLIQUE

Pub. No.:    WO/2018/140430    International Application No.:    PCT/US2018/014945
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Jan 25 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 18/14
Applicants: ORELTECH LTD.
M&B IP ANALYSTS, LLC
Inventors: ZAMOSHCHIK, Natalia
LIVANOV, Konstantin
SHEYNIN, Yana
Title: PROCÉDÉ DE FORMATION DE COUCHE MÉTALLIQUE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de formation d'une couche métallique cristalline sur un substrat tridimensionnel (3D). Le procédé comprend l'application d'une encre de croissance cristalline sur une surface du substrat 3D, l'encre de croissance cristalline comprenant un précurseur ionique métallique et un liquide structurant ; et l’exposition du substrat 3D à un rayonnement de plasma du plasma compris dans une chambre à vide pour provoquer la croissance d'une couche métallique cristalline sur le substrat 3D, l'exposition étant basée sur un ensemble de paramètres d'exposition prédéfinis.