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1. (WO2018140189) PROCÉDÉ D'AMÉLIORATION DE LA QUALITÉ DE FILM DE CARBONE PVD À L'AIDE D'UN GAZ RÉACTIF ET DE LA PUISSANCE DE POLARISATION

Pub. No.:    WO/2018/140189    International Application No.:    PCT/US2017/068538
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 28 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: CITLA, Bhargav
LIU, Jingjing
HUA, Zhong Qiang
YING, Chentsau
NEMANI, Srinivas D.
YIEH, Ellie Y.
Title: PROCÉDÉ D'AMÉLIORATION DE LA QUALITÉ DE FILM DE CARBONE PVD À L'AIDE D'UN GAZ RÉACTIF ET DE LA PUISSANCE DE POLARISATION
Abstract:
Certains modes de réalisation de la présente invention concernent d'une manière générale des procédés de dépôt d'une couche de carbone amorphe sur un substrat, y compris sur des couches précédemment formées sur le substrat, à l'aide d'un processus de pulvérisation à magnétron par impulsions haute puissance (HiPIMS), et plus particulièrement, de la polarisation du substrat pendant le processus de dépôt et l'introduction d'un gaz source d'azote et/ou d'hydrogène dans la chambre de traitement en plus d'un gaz inerte afin d'améliorer la morphologie et la contrainte de film de la couche de carbone amorphe déposée.