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1. (WO2018140011) RÉSONATEURS À ONDE ACOUSTIQUE DE SURFACE HORIZONTALE DE CISAILLEMENT (SH-SAW) ET RÉSEAUX DE CEUX-CI

Pub. No.:    WO/2018/140011    International Application No.:    PCT/US2017/014962
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Jan 26 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 41/04
H03H 9/145
H03H 9/25
G10K 11/36
Applicants: SANDIA CORPORATION
Inventors: BRANCH, Darren, W.
EDWARDS, Thayne, L.
Title: RÉSONATEURS À ONDE ACOUSTIQUE DE SURFACE HORIZONTALE DE CISAILLEMENT (SH-SAW) ET RÉSEAUX DE CEUX-CI
Abstract:
La présente invention concerne un biocapteur qui utilise une cavité acoustique pour stocker de l'énergie mécanique. Dans des exemples particuliers, le biocapteur comprend une région d'électrode et une ou plusieurs régions de réflecteur pour former la cavité acoustique, ainsi qu'une zone active fonctionnalisée disposée à proximité de la cavité. L'invention concerne également des procédés de fabrication et d'utilisation de tels biocapteurs.