Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018139867) APPAREIL DE NETTOYAGE DE MASQUE ET APPAREIL DE RECUIT LASER

Pub. No.:    WO/2018/139867    International Application No.:    PCT/KR2018/001109
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 26 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/20
Applicants: EO TECHNICS CO.,LTD.
(주)이오테크닉스
Inventors: HWANG, Dae Soon
황대순
Title: APPAREIL DE NETTOYAGE DE MASQUE ET APPAREIL DE RECUIT LASER
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de nettoyage de masque. L'appareil de nettoyage de masque comprend : une source laser pour générer un faisceau laser; et une unité d'émission laser pour émettre un faisceau laser au niveau d'un adhésif sur un photomasque, l'unité d'émission laser comprenant : une unité d'entraînement en rotation pour fournir une force d'entraînement en rotation; et un système optique rotatif disposé sur un trajet de déplacement du faisceau laser, entraîné en rotation par l'unité d'entraînement en rotation, et déplaçant, par la rotation, l'emplacement du faisceau laser émis au niveau de l'adhésif sur le photomasque de manière à compenser une variation d'énergie spatiale du faisceau laser.