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1. (WO2018139746) PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UN MATÉRIAU DE FORMATION DE MOTIF QUADRUPLE DE HAUTE QUALITÉ PAR ALLIAGE D'HÉTÉROÉLÉMENTS

Pub. No.:    WO/2018/139746    International Application No.:    PCT/KR2017/013109
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Nov 18 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/027
C23C 16/40
C23C 16/455
C23C 16/56
H01L 21/02
H01L 21/28
Applicants: INCHEON UNIVERSITY INDUSTRY ACADEMIC COOPERATION FOUNDATION
인천대학교 산학협력단
Inventors: LEE, Han Bo Ram
이한보람
Title: PROCÉDÉ DE PRÉPARATION D'UN MATÉRIAU DE FORMATION DE MOTIF QUADRUPLE DE HAUTE QUALITÉ PAR ALLIAGE D'HÉTÉROÉLÉMENTS
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de préparation d'un matériau de formation de motif quadruple de haute qualité par l'alliage d'hétéroéléments et, plus spécifiquement, un procédé capable de produire un matériau de formation de motif quadruple de haute qualité en résolvant le problème d'une augmentation de la rugosité de surface, provoquée par un processus de traitement thermique ultérieur d'un film mince d'oxyde de titane (TiO2) classique, en utilisant un dépôt de couche atomique (ALD) à supercycle de manière à doper de l'oxyde d'yttrium (Y2O3) dans l'oxyde de titane (TiO2) et allier celui-ci.