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1. (WO2018139725) COMPOSITION D'AGENT DE REVÊTEMENT POUR LA PROTECTION DES TRANCHES DE SILICIUM LORS D'UN PROCESSUS DE DÉCOUPAGE AU LASER
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N° de publication : WO/2018/139725 N° de la demande internationale : PCT/KR2017/008796
Date de publication : 02.08.2018 Date de dépôt international : 11.08.2017
CIB :
C09D 7/12 (2006.01) ,C09D 129/04 (2006.01) ,C09D 139/06 (2006.01) ,C09D 133/08 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
09
COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
D
COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT, p.ex. PEINTURES, VERNIS OU VERNIS-LAQUES; APPRÊTS EN PÂTE; PRODUITS CHIMIQUES POUR ENLEVER LA PEINTURE OU L'ENCRE; ENCRES; CORRECTEURS LIQUIDES; COLORANTS POUR BOIS; PRODUITS SOLIDES OU PÂTEUX POUR COLORIAGE OU IMPRESSION; EMPLOI DE MATÉRIAUX À CET EFFET
7
Caractéristiques de compositions de revêtement non prévues dans le groupe C09D5/102
12
Autres adjuvants
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
09
COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
D
COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT, p.ex. PEINTURES, VERNIS OU VERNIS-LAQUES; APPRÊTS EN PÂTE; PRODUITS CHIMIQUES POUR ENLEVER LA PEINTURE OU L'ENCRE; ENCRES; CORRECTEURS LIQUIDES; COLORANTS POUR BOIS; PRODUITS SOLIDES OU PÂTEUX POUR COLORIAGE OU IMPRESSION; EMPLOI DE MATÉRIAUX À CET EFFET
129
Compositions de revêtement à base d'homopolymères ou de copolymères de composés possédant un ou plusieurs radicaux aliphatiques non saturés, chacun ne contenant qu'une seule liaison double carbone-carbone et l'un au moins étant terminé par un radical alcool, éther, aldéhyde, cétone, acétal ou cétal; Compositions de revêtement à base de polymères hydrolysés d'esters d'alcools non saturés avec des acides carboxyliques saturés; Compositions de revêtement à base de dérivés de tels polymères
02
Homopolymères ou copolymères d'alcools non saturés
04
Alcool polyvinylique; Homopolymères ou copolymères partiellement hydrolysés d'esters d'alcools non saturés avec des acides carboxyliques saturés
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
09
COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
D
COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT, p.ex. PEINTURES, VERNIS OU VERNIS-LAQUES; APPRÊTS EN PÂTE; PRODUITS CHIMIQUES POUR ENLEVER LA PEINTURE OU L'ENCRE; ENCRES; CORRECTEURS LIQUIDES; COLORANTS POUR BOIS; PRODUITS SOLIDES OU PÂTEUX POUR COLORIAGE OU IMPRESSION; EMPLOI DE MATÉRIAUX À CET EFFET
139
Compositions de revêtement à base d'homopolymères ou de copolymères de composés possédant un ou plusieurs radicaux aliphatiques non saturés, chacun ne contenant qu'une seule liaison double carbone-carbone et l'un au moins étant terminé par une liaison simple ou double à un azote ou par un hétérocycle contenant de l'azote; Compositions de revêtement à base de dérivés de tels polymères
04
Homopolymères ou copolymères de monomères contenant des hétérocycles possédant de l'azote dans le cycle
06
Homopolymères ou copolymères de N-vinylpyrrolidones
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
09
COLORANTS; PEINTURES; PRODUITS À POLIR; RÉSINES NATURELLES; ADHÉSIFS; COMPOSITIONS NON PRÉVUES AILLEURS; UTILISATIONS DE SUBSTANCES, NON PRÉVUES AILLEURS
D
COMPOSITIONS DE REVÊTEMENT, p.ex. PEINTURES, VERNIS OU VERNIS-LAQUES; APPRÊTS EN PÂTE; PRODUITS CHIMIQUES POUR ENLEVER LA PEINTURE OU L'ENCRE; ENCRES; CORRECTEURS LIQUIDES; COLORANTS POUR BOIS; PRODUITS SOLIDES OU PÂTEUX POUR COLORIAGE OU IMPRESSION; EMPLOI DE MATÉRIAUX À CET EFFET
133
Compositions de revêtement à base d'homopolymères ou de copolymères de composés possédant un ou plusieurs radicaux aliphatiques non saturés, chacun ne contenant qu'une seule liaison double carbone-carbone et l'un au moins étant terminé par un seul radical carboxyle, ou ses sels, anhydrides, esters, amides, imides ou nitriles; Compositions de revêtement à base de dérivés de tels polymères
04
Homopolymères ou copolymères d'esters
06
d'esters ne contenant que du carbone, de l'hydrogène et de l'oxygène, l'atome d'oxygène faisant uniquement partie du radical carboxyle
08
Homopolymères ou copolymères d'esters de l'acide acrylique
Déposants :
(주)엠티아이 MTI CO.,LTD [KR/KR]; 경기도 안산시 단원구 목내로 122번길 39 (목내동) (Mongnae-dong) 39, Mongnae-ro 122beon-gil, Danwon-gu, Ansan-si, Gyeonggi-do 15598, KR
Inventeurs :
박성균 PARK, Sung Kyun; KR
박종보 PARK, Jong Bo; KR
Mandataire :
특허법인 가산 KASAN IP & LAW FIRM; 서울시 서초구 남부순환로 2423 한원빌딩 7층 7th Floor, Hanwon Building, 2423 Nambusunhwan-ro, Seocho-gu, Seoul 06719, KR
Données relatives à la priorité :
10-2017-001236926.01.2017KR
Titre (EN) COATING AGENT COMPOSITION FOR WAFER PROTECTION IN LASER SCRIBING PROCESS
(FR) COMPOSITION D'AGENT DE REVÊTEMENT POUR LA PROTECTION DES TRANCHES DE SILICIUM LORS D'UN PROCESSUS DE DÉCOUPAGE AU LASER
(KO) 레이저 스크라이빙 공정의 웨이퍼 보호용 코팅제 조성물
Abrégé :
(EN) The present invention provides a coating agent composition for wafer protection, the composition comprising: 5-50 parts by weight of polyurethane, a vinylpyrrolidone/methacrylamide/vinylimidazole copolymer, a vinylpyrrolidone/vinylalcohol copolymer, poly(vinylacetate-CO-crotonic acid), an aminoethylpropandiol-acrylate copolymer, or a mixture thereof; 1-10 parts by weight of a surfactant; 5-30 parts by weight of a hydrolyzed silane compound; 10-30 parts by weight of a water-dispersible polyurethane dispersant; 3-10 parts by weight of nano ceramic particles; 3-10 parts by weight of a binder; and 50-150 parts by weight of a solvent, relative to 100 parts by weight of a highly soluble polymer resin. The coating agent composition for wafer protection according to the present invention has effects of: preventing a wafer from being damaged in laser scribing through easy attachment and enhanced adhesion to a surface of the wafer; and improving cleaning ability.
(FR) La présente invention concerne une composition d'agent de revêtement pour la protection des tranches de silicium, la composition comprenant : de 5 à 50 parties en poids de polyuréthane, d'un copolymère de vinylpyrrolidone/méthacrylamide/vinylimidazole, d'un copolymère de vinylpyrrolidone/alcool vinylique, d'un copolymère de poly(acétate de vinyle-CO-acide crotonique), d'un copolymère d'aminoéthylpropanediol-acrylate ou d'un mélange de ceux-ci ; de 1 à 10 parties en poids de tensioactif ; de 5 à 30 parties en poids d'un composé de silane hydrolysé ; de 10 à 30 parties en poids de dispersant polyuréthane doué de dispersion dans l'eau ; de 3 à 10 parties en poids de nanoparticules de céramique ; de 3 à 10 parties en poids de liant ; et de 50 à 150 parties en poids de solvant, pour 100 parties en poids de résine polymère très soluble. La composition d'agent de revêtement pour la protection des tranches de silicium selon la présente invention a les effets suivants : protection d'une tranche de silicium contre les dommages susceptibles d'être occasionnés lors d'une découpe laser, d'application facile et d'adhérence améliorée à une surface de la tranche de silicium ; et amélioration de l'aptitude au nettoyage.
(KO) 본 발명은 고수용성 고분자 수지 100중량부를 기준으로, 폴리우레탄, 비닐피롤리돈/메타아크릴아마이드/비닐이미다졸 공중합체, 비닐피롤리돈/비닐알코올 공중합체, 폴리(비닐아세테이트-CO-크로토닉산), 아미노에틸프로판디올-아크릴레이트 공중합체 또는 이들의 혼합물 5 내지 50중량부; 계면활성제 1 내지 10중량부; 가수분해 실란화합물 5 내지 30중량부; 수분산 폴리우레탄 분산제 10 내지 30중량부; 나노세라믹입자 3 내지 10중량부; 바인더 3 내지 10중량부; 및 용매 50 내지 150중량부를 포함하는 웨이퍼 보호용 코팅제 조성물을 제공한다. 본 발명에 따른 웨이퍼 보호용 코팅제 조성물은 웨이퍼 표면에 용이하게 접착하는 동시에, 밀착성을 향상시켜 레이져 스크라이빙 시 웨이퍼가 손상되는 것을 방지하고, 세정성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)