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1. (WO2018139274) DISPOSITIF DE RAYONNEMENT LUMINEUX POLARISÉ ET PROCÉDÉ DE RAYONNEMENT LUMINEUX POLARISÉ

Pub. No.:    WO/2018/139274    International Application No.:    PCT/JP2018/001071
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 17 00:59:59 CET 2018
IPC: G03F 7/20
G02F 1/1337
Applicants: V TECHNOLOGY CO., LTD.
株式会社ブイ・テクノロジー
Inventors: ARAI Toshinari
新井 敏成
TAKESHITA Takuro
竹下 琢郎
Title: DISPOSITIF DE RAYONNEMENT LUMINEUX POLARISÉ ET PROCÉDÉ DE RAYONNEMENT LUMINEUX POLARISÉ
Abstract:
La présente invention concerne un film d'alignement qui amène l'angle de pré-inclinaison de molécules de cristaux liquides à être petit, et qui peut être produit par un processus de photo-alignement. La lumière polarisée émise par une source de lumière (211) et transmise à travers une région de transmission de lumière formée dans un masque (32) est émise sur un objet (W) à exposer reposant sur un support (11). La lumière polarisée est émise sur l'objet (W) à exposer à partir d'une direction inclinée d'environ 50 à 70 degrés par rapport à la direction approximativement orthogonale à la surface supérieure du support (11).