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1. (WO2018139220) PROCÉDÉ DE CRÉATION D'HOLOGRAMMES DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, PROCÉDÉ DE MESURE D'INFORMATIONS DE CHAMP MAGNÉTIQUE ET DISPOSITIF DE MESURE D'INFORMATIONS DE CHAMP MAGNÉTIQUE

Pub. No.:    WO/2018/139220    International Application No.:    PCT/JP2018/000663
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 13 00:59:59 CET 2018
IPC: G03H 5/00
G01N 23/2251
Applicants: TOHOKU UNIVERSITY
国立大学法人東北大学
Inventors: SHINDO Daisuke
進藤 大輔
SATO Takafumi
佐藤 隆文
Title: PROCÉDÉ DE CRÉATION D'HOLOGRAMMES DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS, PROCÉDÉ DE MESURE D'INFORMATIONS DE CHAMP MAGNÉTIQUE ET DISPOSITIF DE MESURE D'INFORMATIONS DE CHAMP MAGNÉTIQUE
Abstract:
Le problème décrit par la présente invention consiste à fournir un procédé de création d'un hologramme de faisceau d'électrons, un procédé de mesure d'informations de champ magnétique, et un dispositif de mesure d'informations de champ magnétique qui peuvent rendre visibles les effets de l'application d'un champ magnétique sur des électrons inclus dans une surface d'échantillon et l'échantillon et les évaluer. La solution concerne, dans un état dans lequel un champ électrique est appliqué à un échantillon 1, un premier hologramme de faisceau d'électrons qui est créé par interférence d'une onde d'objet formée à partir d'un faisceau d'électrons affecté par l'échantillon 1 et d'une onde de référence formée à partir d'un faisceau d'électrons non affecté par l'échantillon 1, et une première image de phase reconstruite est créée à partir de ce premier hologramme de faisceau d'électrons. De plus, dans un état dans lequel un champ électrique n'est pas appliqué à l'échantillon 1, un second hologramme de faisceau d'électrons est créé par interférence d'une onde d'objet formée à partir d'un faisceau d'électrons affecté par l'échantillon 1 et d'une onde de référence formée à partir d'un faisceau d'électrons non affecté par l'échantillon 1, et une seconde image de phase reconstruite est créée à partir de ce second hologramme de faisceau d'électrons. Des informations de champ magnétique montrant les effets du champ magnétique sur l'échantillon 1 sont obtenues sur la base de la différence entre la première image de phase reconstruite et la seconde image de phase reconstruite.