Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018138886) DISPOSITIF LASER ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME

Pub. No.:    WO/2018/138886    International Application No.:    PCT/JP2017/003009
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 28 00:59:59 CET 2017
IPC: H01S 3/10
B23K 26/00
H01S 3/23
Applicants: GIGAPHOTON INC.
ギガフォトン株式会社
Inventors: ITOU Hiroyuki
伊藤 裕之
Title: DISPOSITIF LASER ET SYSTÈME DE GÉNÉRATION DE RAYONNEMENT ULTRAVIOLET EXTRÊME
Abstract:
L'invention concerne un dispositif laser comprenant : un miroir qui réfléchit la lumière laser ; un actionneur qui fait fonctionner le miroir ; et un contrôleur qui transmet une instruction de mouvement à l'actionneur. Le contrôleur prédit un temps d'achèvement de mouvement de l'actionneur et peut permettre à un signal d'interrogation d'être transmis de telle sorte que l'actionneur reçoit le signal d'interrogation après l'écoulement du temps d'achèvement de mouvement prédit.