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1. (WO2018138529) PROCÉDÉ D'OPTIMISATION DES PERFORMANCES D'UN GYROMÈTRE À MEMS

Pub. No.:    WO/2018/138529    International Application No.:    PCT/GB2018/050256
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 31 00:59:59 CET 2018
IPC: G01C 19/56
G01C 25/00
Applicants: CAMBRIDGE ENTERPRISE LTD
Inventors: SESHIA, Ashwin
ZOU, Xudong
Title: PROCÉDÉ D'OPTIMISATION DES PERFORMANCES D'UN GYROMÈTRE À MEMS
Abstract:
La présente invention concerne un procédé de réglage d'un gyroscope vibratoire, le gyroscope comprenant: un résonateur à disque axisymétrique, un cadre, le résonateur étant fixé au cadre par l'intermédiaire d'au moins trois ancrages séparés, une pluralité d'électrodes, chaque électrode étant positionnée sur le cadre ou le résonateur, la pluralité d'électrodes comprenant au moins une électrode d'excitation à travers laquelle un signal d'excitation est entré pour exciter un premier mode de vibration du résonateur, au moins une première électrode de détection conçue pour détecter le premier mode de vibration du résonateur, au moins une seconde électrode de détection conçue pour détecter un second mode de vibration du résonateur, orthogonal au premier mode, et au moins des première et seconde électrodes de réglage auxquelles des tensions de polarisation CC peuvent être appliquées, le procédé comprenant les étapes suivantes: a) l'application d'un signal d'excitation CA à l'électrode d'excitation, le signal d'excitation comprenant une pluralité de fréquences; b) la détection de la réponse du résonateur au signal d'excitation au niveau des première et seconde électrodes de détection; c) la détermination d'une fréquence de réponse maximale pour le premier mode de vibration, et la détermination d'une fréquence de réponse maximale pour le second mode de vibration; d) l'obtention d'un résultat de comparaison à partir d'une comparaison de la fréquence de réponse maximale pour le premier mode de vibration à la fréquence de réponse maximale pour le second mode de vibration; et e) l'application d'une tension de polarisation à une ou plusieurs des électrodes de réglage en fonction du résultat de la comparaison.