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1. (WO2018138197) ANNEAU DE TRANSPORT

Pub. No.:    WO/2018/138197    International Application No.:    PCT/EP2018/051827
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 26 00:59:59 CET 2018
IPC: C23C 16/458
Applicants: AIXTRON SE
Inventors: KRÜCKEN, Wilhelm Josef Thomas
EICKELKAMP, Martin
Title: ANNEAU DE TRANSPORT
Abstract:
L'invention concerne un dispositif pour le transport d'un substrat sous forme d'un corps annulaire (1) entourant au moins partiellement une ouverture circulaire, présentant une première section (2) s'étendant radialement vers l'extérieur par rapport à l'ouverture circulaire et une deuxième section (3) s'étendant radialement vers l'intérieur, les sections (2, 3) présentant chacune des propriétés de transport de chaleur qui déterminent un transport de chaleur axial à travers les segments lors d'une différence de température axiale par rapport à une normale à la surface de l'ouverture circulaire. Au moins une des propriétés de transport de chaleur de la première section (2) est différente de la propriété de transport de chaleur de la deuxième section (3) de manière telle que la chaleur qui s'écoule dans la direction axiale à travers un élément surfacique unitaire dans la première section (2) est inférieure à celle dans la deuxième section (3), la propriété de transport de chaleur étant la conductibilité thermique spécifique ou l'émissivité d'au moins une surface orientée dans la direction axiale des sections (2, 3).