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1. (WO2018138193) MMS, ENSEMBLE DE MMS, ACTIONNEUR MEMS ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE METTRE AU POINT UN MMS
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N° de publication : WO/2018/138193 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/051818
Date de publication : 02.08.2018 Date de dépôt international : 25.01.2018
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26
Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation
08
pour commander la direction de la lumière
Déposants :
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Hansastraße 27c 80686 München, DE
Inventeurs :
DÜRR, Peter; DE
KUNZE, Detlef; DE
GEHNER, Andreas; DE
FRIEDRICHS, Martin; DE
Mandataire :
KÖNIG, Andreas; DE
ZIMMERMANN, Tankred; DE
STÖCKELER, Ferdinand; DE
HERSINA, Günter; DE
BURGER, Markus; DE
SCHENK, Markus; DE
ZINKLER, Franz; DE
PFITZNER, Hannes; DE
SCHLENKER, Julian; DE
SCHAIRER, Oliver; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 011 821.327.01.2017DE
10 2017 201 309.527.01.2017DE
Titre (EN) MMS, MMS ARRAY, MEMS ACTUATOR, AND METHOD FOR PREPARING AN MMS
(FR) MMS, ENSEMBLE DE MMS, ACTIONNEUR MEMS ET PROCÉDÉ PERMETTANT DE METTRE AU POINT UN MMS
(DE) MMS, MMS-ARRAY, MEMS-AKTUATOR UND VERFAHREN ZUM BEREITSTELLEN EINES MMS
Abrégé :
(EN) The invention relates to an MMS comprising a substrate, an element that can move with respect to the substrate, and a frame structure. A first spring pair is positioned between the substrate and the frame structure along a first spring direction. A second spring pair is positioned between the movable element and the frame structure along a second spring direction. The frame structure is designed to produce a tensile stress in the second spring pair when there is a tensile stress acting in the first spring pair.
(FR) L'invention concerne un MMS comprenant un substrat, un élément mobile par rapport au substrat et une structure de cadre. Une première paire de ressorts est agencée entre le substrat et la structure de cadre le long d'une première direction de ressort. Une deuxième paire de ressorts est agencée entre l'élément mobile et la structure de cadre d'une deuxième direction de ressort. La structure de cadre est conçue pour générer une contrainte de traction dans la deuxième paire de ressorts lorsqu'une contrainte de traction agit dans la deuxième paire de ressorts.
(DE) Ein MMS umfasst ein Substrat, ein gegenüber dem Substrat bewegliches Element und eine Rahmenstruktur. Ein erstes Federpaar ist zwischen dem Substrat und der Rahmenstruktur entlang einer ersten Federrichtung angeordnet ist. Ein zweites Federpaar ist zwischen dem beweglichen Element und der Rahmenstruktur einer zweiten Federrichtung angeordnet. Die Rahmenstruktur ist ausgebildet, um bei einer Zugspannung, die in dem ersten Federpaar wirkt, eine Zugspannung in dem zweiten Federpaar zu erzeugen.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)