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1. (WO2018138123) PROCÉDÉS DE RÉGLAGE DE MODÈLES DE PROCESSUS
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N° de publication : WO/2018/138123 N° de la demande internationale : PCT/EP2018/051669
Date de publication : 02.08.2018 Date de dépôt international : 24.01.2018
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
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Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
FENG, Mu; US
SHAYEGAN SALEK, Mir Farrokh; US
ZHU, Dianwen; US
ZHENG, Leiwu; US
HOWELL, Rafael C.; US
WANG, Jen-Shiang; US
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
62/451,04826.01.2017US
Titre (EN) METHODS OF TUNING PROCESS MODELS
(FR) PROCÉDÉS DE RÉGLAGE DE MODÈLES DE PROCESSUS
Abrégé :
(EN) Disclosed herein are methods of constructing a process model for simulating a characteristic of a product of lithography from patterns produced under different processing conditions. The methods use a deviation between the variation of the simulated characteristic and the variation of the measured characteristic to adjust the parameters of the process model.
(FR) L'invention concerne des procédés de construction d'un modèle de processus pour simuler une caractéristique d'un produit de lithographie à partir de configurations produites dans différentes conditions de traitement. Les procédés utilisent un écart entre la variation de la caractéristique simulée et la variation de la caractéristique mesurée pour ajuster les paramètres du modèle de processus.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)