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1. (WO2018138098) PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE MESURE PAR MICRO-SPECTROMÉTRIE

Pub. No.:    WO/2018/138098    International Application No.:    PCT/EP2018/051608
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 24 00:59:59 CET 2018
IPC: G02B 21/36
G01J 3/28
G01J 3/02
G01J 3/44
G02B 21/00
G02B 21/24
G02B 7/38
Applicants: HORIBA FRANCE SAS
Inventors: KOKOTA, Alexandre
SHYNKAR, Vasyl
MARCHESSOUX, Cédric
Title: PROCÉDÉ ET SYSTÈME DE MESURE PAR MICRO-SPECTROMÉTRIE
Abstract:
L'invention concerne un système de micro-spectrométrie optique comprenant un microscope optique (10), un système de spectrométrie (50) et un système optique (14) conçu pour diriger un faisceau de lumière d'excitation sur l'échantillon à travers ledit au moins un objectif de microscope (11, 12) et pour recueillir un faisceau lumineux à effet Raman ou photoluminescent provenant d'un échantillon. Selon l'invention, le système de micro-spectrométrie optique comporte un système d'imagerie (16, 41) configuré pour l'acquisition d'une première image (71) et d'une seconde image (72) de l'échantillon, par réflexion ou transmission d'un faisceau d'éclairage provenant d'une surface d'échantillon, la première image (71) ayant un grand champ de vision et la seconde image (72) ayant un petit champ de vision, un système de traitement (40) configuré pour la détermination d'une zone dans la première image (71) correspondant à la seconde image (72), un système d'affichage (44) configuré pour l'affichage de la première image (71), de la deuxième image (72), et d'une troisième image (73) représentant ladite zone en superposition sur la première image (71).