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1. (WO2018137816) APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2018/137816    International Application No.:    PCT/EP2017/081345
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 05 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: HOEFNAGELS, Pieter, Jeroen, Johan, Emanuel
KOX, Ronald, Frank
BOMBEECK, John, Maria
MELMAN, Johannes, Cornelis, Paulus
BLOKS, Ruud, Hendrikus, Martinus, Johannes
NEEFS, Patricius, Jacobus
Title: APPAREIL DE LITHOGRAPHIE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D’UN DISPOSITIF
Abstract:
L'invention concerne un procédé de fabrication de dispositif qui comprend les étapes consistant à : confiner un liquide dans un espace d'immersion entre un système de projection et une surface faisant face d'un objet sur une table de support et/ou la table de support à l'aide d'une structure de confinement de liquide; démarrer l'application d'une sous-pression à une unité d'extraction pour éliminer le fluide d'une position à proximité d'un bord de l'objet avant que l'espace d'immersion se déplace sur l'objet; déplacer la table de support le long d'un itinéraire comprenant une série de mouvements de telle sorte qu'une pluralité de positions cibles sur l'objet passent sous le système de projection; projeter à travers l'espace d'immersion, un faisceau à motifs sur les parties cibles de l'objet à mesure que les parties cibles passent sous le système de projection, la projection étant réalisée pour tenir compte d'un certain profil thermique prédéterminé dans l'objet; arrêter l'application de la sous-pression à un moment prédéterminé après que l'espace d'immersion se déplace hors de l'objet pendant la dernière durée pendant la série de mouvements, ce qui permet au moins partiellement d'induire le certain profil thermique prédéterminé dans l'objet.