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1. (WO2018137676) DISPOSITIF OBTURATEUR ET PROCÉDÉ DE COMMANDE ASSOCIÉ, ALIGNEUR DE MASQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DOSE D'EXPOSITION ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2018/137676    International Application No.:    PCT/CN2018/074089
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 26 00:59:59 CET 2018
IPC: G03B 9/08
G03F 7/20
Applicants: SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD.
上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventors: JIANG, Zhiyong
蒋志勇
ZHANG, Fuping
章富平
WANG, Yanfei
王彦飞
Title: DISPOSITIF OBTURATEUR ET PROCÉDÉ DE COMMANDE ASSOCIÉ, ALIGNEUR DE MASQUE ET PROCÉDÉ DE COMMANDE DE DOSE D'EXPOSITION ASSOCIÉ
Abstract:
L'invention concerne un dispositif obturateur et un procédé de commande associé, un aligneur de masque et un procédé de commande de dose d'exposition associé. Le dispositif obturateur comprend : une unité de blocage de lumière et un moteur électrique à bobine acoustique (100), le moteur électrique à bobine acoustique (100) comprenant un module aimant permanent (110), un module rail de guidage d'entraînement (120) et des structures de bobine (130). Les structures de bobine (130) sont disposées sur le module rail de guidage d'entraînement (120). Le module aimant permanent (110) génère un champ magnétique à l'intérieur du module rail de guidage d'entraînement (120). L'unité de blocage de lumière comprend deux lames d'obturateur (200). Les lames d'obturateur (200) sont reliées aux structures de bobine (130). Après avoir été excitées, les structures de bobine (130) génèrent des champs magnétiques contraires au champ magnétique créé dans le module rail de guidage d'entraînement (120), ou similaires à ce dernier, de sorte que les structures de bobine (130) se déplacent vers l'avant ou vers l'arrière le long du module rail de guidage d'entraînement (120) pour entraîner l'ouverture ou la fermeture des deux lames d'obturateur (200). La connexion directe des structures de bobine (130) du moteur électrique à bobine acoustique (100) à l'unité de blocage de lumière permet de fortement réduire le temps d'ouverture et de fermeture des lames d'obturateur (200), ce qui permet d'augmenter le rendement d'exposition de faible dose et d'augmenter le taux d'utilisation de la source de lumière par unité de temps.