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1. (WO2018137233) SYSTÈME D’INSPECTION OPTIQUE

Pub. No.:    WO/2018/137233    International Application No.:    PCT/CN2017/072728
Publication Date: Fri Aug 03 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 27 00:59:59 CET 2017
IPC: G01N 21/88
Applicants: HONG KONG APPLIED SCIENCE AND TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE COMPANY LIMITED
Inventors: WU, Changli
LIU, Ying
Title: SYSTÈME D’INSPECTION OPTIQUE
Abstract:
L’invention concerne un système d’inspection optique (130) qui détecte des défauts d’un objet, par exemple un dispositif électronique pendant la fabrication. Le système d’inspection optique (130) inclut une première source de lumière linéaire (132) qui projette un premier faisceau de lumière sur une surface supérieure de l’objet le long d’une ligne de balayage à travers la largeur de l’objet. Une deuxième source de lumière linéaire (134) forme un angle avec la première source de lumière linéaire (132) et projette un deuxième faisceau de lumière sur une surface latérale de l’objet. Une caméra (136) reçoit la lumière dispersée par la surface supérieure et la surface latérale de l’objet et capture une sous-image de l’objet le long de la ligne de balayage. Un système de traitement d’images (120) reçoit chaque sous-image de la caméra (136), recoud les sous-images, et détecte des défauts sur la surface supérieure et la surface latérale de l’objet.