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1. (WO2018131102) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES

Pub. No.:    WO/2018/131102    International Application No.:    PCT/JP2017/000699
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 13 00:59:59 CET 2017
IPC: H01J 37/147
H01J 37/145
H01J 37/22
H01J 37/244
H01J 37/28
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: KAWAMOTO Yuta
川本 雄太
IKEGAMI Akira
池上 明
EBIZUKA Yasushi
海老塚 泰
BAN Naoma
坂 直磨
Title: DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
Abstract:
L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif à faisceau de particules chargées capable de déplacer un champ de vision vers une position exacte même lors du déplacement du champ de vision au-dessus d'un échantillon réel. Afin d'atteindre cet objectif, l'invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées comprenant : une lentille d'objet (10) dans laquelle un faisceau de particules chargées est focalisé et irradié sur un échantillon ; un déflecteur mobile de champ de vision (8) pour dévier le faisceau de particules chargées ; et un étage (12) sur lequel l'échantillon est placé. Le dispositif à faisceau de particules chargées est équipé d'un dispositif de commande qui : commande les conditions de lentille pour la lentille d'objet de telle sorte que le faisceau de particules chargées se concentre sur l'échantillon (11) qui doit être mesurée ; déplace le champ de vision par l'intermédiaire du déflecteur mobile de champ de vision tout en maintenant les conditions de lentille ; acquiert une pluralité d'images à chaque position parmi un motif de référence (13) s'étendant dans une direction spécifiée ; et utilise la pluralité d'images acquises pour ajuster le signal fourni au déflecteur mobile de champ de vision.