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1. (WO2018130326) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE À BRAS OSCILLANT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI, ET PROCÉDÉ POUR CONFÉRER À UN ÉLÉMENT RÉGLABLE UN MOUVEMENT SUR UN AXE DE ROTATION
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N° de publication : WO/2018/130326 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/079455
Date de publication : 19.07.2018 Date de dépôt international : 16.11.2017
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,G02B 26/10 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26
Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation
08
pour commander la direction de la lumière
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26
Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation
08
pour commander la direction de la lumière
10
Systèmes de balayage
Déposants :
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs :
PINTER, Stefan; DE
KAUPMANN, Philip; DE
MUCHOW, Joerg; DE
GRUTZECK, Helmut; DE
FRANZ, Jochen; DE
Données relatives à la priorité :
10 2017 200 352.911.01.2017DE
Titre (EN) MICROMECHANICAL COMPONENT WITH OSCILLATOR, METHOD FOR PRODUCING SAME, AND METHOD FOR EXCITING A MOVEMENT OF A MOVABLE PART ABOUT A ROTATION AXIS
(FR) COMPOSANT MICROMÉCANIQUE À BRAS OSCILLANT, PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CELUI-CI, ET PROCÉDÉ POUR CONFÉRER À UN ÉLÉMENT RÉGLABLE UN MOUVEMENT SUR UN AXE DE ROTATION
(DE) MIKROMECHANISCHES BAUTEIL MIT SCHWINGER, HERSTELLUNGSVERFAHREN DAFÜR UND VERFAHREN ZUM ANREGEN EINER BEWEGUNG EINES VERSTELLBAREN TEILS UM EINE ROTATIONSACHSE
Abrégé :
(EN) The invention relates to a micromechanical component having a holder (10), a movable part (12) which is connected to the holder (10) at least via at least one spring (14a, 14b, 14c), and an actuator device (18), wherein a first oscillating movement (Φ1) of the movable part (12) about a first rotation axis (20) and simultaneously a second oscillating movement (Φ2) of the movable part (12), which is set in the first oscillating movement (Φ1), about a second rotation axis (22) can be excited by means of the actuator device (18), and wherein the movable part (12) is arranged movably on the holder (10) by means of at least one of the at least one spring (14a, 14b, 14c) in such a manner that the movable part (12) can be moved about a rotation axis (24) oriented perpendicularly to the first rotation axis (20) and perpendicularly to the second rotation axis (22) by means of a resulting torque (M2). The invention further relates to a method for producing a micromechanical component. The invention also relates to a method for exciting a movement of a movable part (12) about a rotation axis (24).
(FR) L’invention concerne un composant micromécanique comportant un support (10), un élément réglable (12) relié au support (10) au moins par le biais d’au moins un ressort (14a, 14b, 14c) et un dispositif d’actionnement (18). Le dispositif d’actionnement (18) peut conférer à l’élément réglable (12) un premier mouvement oscillant (Φ1) sur un premier axe de rotation (20) et en même temps, à l’élément réglable (12) déplacé suivant le premier mouvement oscillant (Φ1), un second mouvement oscillant (Φ2) sur un second axe de rotation et l’élément réglable (12) est disposé sur le support (10) de manière réglable au moyen d’au moins un ressort (14a, 14b, 14c) de sorte que, au moyen d’un couple résultant (M2), l’élément réglable (12) peut être déplacé en rotation sur un axe de rotation (24) orienté perpendiculairement au premier axe de rotation (20) et perpendiculairement au second axe de rotation (22). L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un composant micromécanique. En outre, l’invention concerne un procédé destiné à conférer à un élément réglable (12) un mouvement de rotation sur un axe de rotation (24).
(DE) Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Halterung (10), einem verstellbaren Teil (12), welches zumindest über mindestens eine Feder (14a, 14b, 14c) mit der Halterung (10) verbunden ist, und einer Aktoreinrichtung (18), wobei eine erste Schwingbewegung (Φ1) des verstellbaren Teils (12) um eine erste Drehachse (20) und gleichzeitig eine zweite Schwingbewegung (Φ2) des in die erste Schwingbewegung (Φ1) versetzten verstellbaren Teils (12) um eine zweite Drehachse (22) mittels der Aktoreinrichtung (18) anregbar sind, und wobei das verstellbare Teil (12) mittels zumindest der mindestens einen Feder (14a, 14b, 14c) derart verstellbar an der Halterung (10) angeordnet ist, dass das verstellbare Teil (12) mittels eines resultierenden Drehmoments (M2) um eine senkrecht zu der ersten Drehachse (20) und senkrecht zu der zweiten Drehachse (22) ausgerichtete Rotationsachse (24) verstellbar ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Anregen einer Bewegung eines verstellbaren Teils (12) um eine Rotationsachse (24).
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)