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1. (WO2018130301) APPAREIL DE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE POUR REVÊTIR UN SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION D'UN PROCÉDÉ DE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE

Pub. No.:    WO/2018/130301    International Application No.:    PCT/EP2017/050693
Publication Date: Fri Jul 20 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 14 00:59:59 CET 2017
IPC: H01J 37/32
H01J 37/34
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
KLÖPPEL, Andreas
LOPP, Andreas
Inventors: KLÖPPEL, Andreas
LOPP, Andreas
Title: APPAREIL DE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE POUR REVÊTIR UN SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION D'UN PROCÉDÉ DE DÉPÔT PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE
Abstract:
L'invention concerne un appareil de dépôt par pulvérisation cathodique. L'appareil de dépôt par pulvérisation cathodique comprend une pluralité d'ensembles cathode configurés pour pulvériser un matériau cible dans un processus de dépôt par pulvérisation cathodique, chacun de la pluralité d'ensembles cathode comprenant une cible rotative et un ensemble aimant disposé dans la cible rotative, la pluralité d'ensembles cathode comprenant un ensemble cathode le plus à l'extérieur. L'appareil de dépôt par pulvérisation cathodique comprend en outre une pluralité d'éléments anode configurés pour influencer un plasma généré dans le processus de dépôt par pulvérisation cathodique, la pluralité d'éléments anode comprenant un élément anode le plus à l'extérieur. L'appareil de dépôt par pulvérisation cathodique comprend en outre un ensemble aimant auxiliaire. L'ensemble cathode le plus à l'extérieur, l'élément anode le plus à l'extérieur et l'ensemble aimant auxiliaire sont agencés dans cet ordre, l'ensemble aimant auxiliaire étant configuré pour fournir un champ magnétique pour compenser un effet de bord au niveau d'une région extérieure du plasma.