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1. (WO2018129379) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT SPÉCIFIQUE À UN EMPLACEMENT COMPENSÉ

Pub. No.:    WO/2018/129379    International Application No.:    PCT/US2018/012666
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 06 00:59:59 CET 2018
IPC: H01J 37/317
H01J 37/28
Applicants: TEL EPION INC.
Inventors: GWINN, Matthew C.
TABAT, Martin D.
REGAN, Kenneth
LEITH, Allen J.
GRAF, Michael
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT SPÉCIFIQUE À UN EMPLACEMENT COMPENSÉ
Abstract:
La présente invention concerne un appareil et un procédé destiné au traitement d'une pièce à travailler avec un faisceau. L'appareil comprend une chambre à vide présentant une ligne de faisceau destinée à former un faisceau de particules et à traiter une pièce à travailler avec le faisceau de particules et un dispositif de balayage destiné à translater la pièce à travailler à travers le faisceau de particules. L'appareil comprend en outre un circuit de commande du dispositif de balayage accouplé au dispositif de balayage et configuré pour commander une propriété de balayage du dispositif de balayage et un circuit de commande de faisceau accouplé à au moins un composant de la ligne de faisceau et configuré pour commander le flux de faisceau du faisceau de particules selon un cycle de fonctionnement destiné à commuter entre au moins deux états différents pendant le traitement.