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1. (WO2018129111) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE RÉDUCTION DE GAZ RÉSIDUAIRE AMÉLIORÉE

Pub. No.:    WO/2018/129111    International Application No.:    PCT/US2018/012279
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Jan 05 00:59:59 CET 2018
IPC: B01D 53/00
Applicants: ALZETA CORPORATION
Inventors: SILBERSTEIN, Michael J.
BARTZ, David Frederick
Title: SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE RÉDUCTION DE GAZ RÉSIDUAIRE AMÉLIORÉE
Abstract:
La présente invention concerne d'une manière générale des systèmes et des procédés de réduction de la combustion de gaz résiduaire formé pendant la fabrication de tranches de semi-conducteur. En particulier, les systèmes décrits ici sont capables de brûler des perfluorocarbones polluants de l'air, y compris ceux ayant des indices de gaz à effet de serre élevé tels que l'hexafluoroéthane (C2F6) et le tétrafluorométhane (CF4), ainsi que des précurseurs de dioxyde de silicium formant des particules, tels que le silane (SiH4) et le tétraéthoxysilane (Si(OC2H5)4, abrégé TEOS), avec une plus grande efficacité et une plus faible consommation d'énergie que les systèmes de réduction antérieurs. Plus particulièrement, et dans un mode de réalisation préféré, la présente invention concerne un système de réduction des gaz résiduaire qui utilise une combinaison de gaz non-combustibles et combustibles (ou de mélanges gazeux) pour la combustion thermique, qui sont dirigés à travers de multiples surfaces intérieures perméables d'une chambre de réaction, combustion efficace de gaz résiduaire et prévention de l'accumulation indésirable de matière particulaire solide sur les surfaces de chambre.