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1. (WO2018128995) SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE CLASSIFICATION DE MATÉRIAUX DÉFECTUEUX

Pub. No.:    WO/2018/128995    International Application No.:    PCT/US2018/012103
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 03 00:59:59 CET 2018
IPC: H01L 21/66
H01L 21/67
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: ZHAO, Guoheng
LEONG, Jenn-Kuen
KIRK, Michael
Title: SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE CLASSIFICATION DE MATÉRIAUX DÉFECTUEUX
Abstract:
Un système d'inspection comprend une source d'éclairage pour générer un faisceau d'éclairage, des éléments de focalisation pour diriger le faisceau d'éclairage vers un échantillon, un détecteur, des éléments de collecte configurés pour diriger un rayonnement émanant de l'échantillon vers le détecteur, un dispositif de commande de mode de détection pour imager l'échantillon dans au moins deux modes de détection de telle sorte que le détecteur génère au moins deux signaux de collecte sur la base des deux modes de détection ou plus, et un dispositif de commande. Le rayonnement émanant de l'échantillon comprend au moins un rayonnement réfléchi de manière spéculaire par l'échantillon et un rayonnement diffusé par l'échantillon. Le dispositif de commande détermine des caractéristiques de diffusion de défaut associées au rayonnement diffusé par des défauts sur l'échantillon sur la base des deux signaux de collecte ou plus. Le dispositif de commande classifie également la ou les particules selon un ensemble de classifications de défauts prédéterminées sur la base de la ou des caractéristiques de diffusion de défaut.