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1. (WO2018128988) OBJECTIF ZOOM À RAYONS X POUR DIFFUSOMÉTRIE DE RAYONS X À PETITS ANGLES

Pub. No.:    WO/2018/128988    International Application No.:    PCT/US2018/012086
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jan 03 00:59:59 CET 2018
IPC: G01N 23/207
G01B 15/00
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: ARTEMIEV, Nikolay
FRIEDMANN, Michael
Title: OBJECTIF ZOOM À RAYONS X POUR DIFFUSOMÉTRIE DE RAYONS X À PETITS ANGLES
Abstract:
La présente invention concerne des procédés et des systèmes de commande de taille de point de faisceau d'éclairement à des fins de mesures par diffusométrie de rayons X à petits angles de transmission (T-SAXS) de cibles de métrologie de tailles différentes. Un sous-système d'optique d'éclairement à rayons X comprend un ou plusieurs éléments optiques de focalisation à plans d'objet et d'image à des emplacements fixes et une ou plusieurs ouvertures ou fentes d'éclairement qui commandent indépendamment un grossissement et une divergence de faisceau. Selon un autre aspect, la taille et la forme de la source d'éclairement sont commandées, conjointement avec un grossissement et une divergence de faisceau. L'invention permet de cette manière de commander indépendamment une divergence de faisceau et une taille de point d'éclairement sur un échantillon, tout en maintenant constant un flux d'éclairement.