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1. (WO2018128771) REVÊTEMENT D'OXYDE PROTECTEUR À CONCENTRATIONS RÉDUITES EN MÉTAL

Pub. No.:    WO/2018/128771    International Application No.:    PCT/US2017/066609
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 16 00:59:59 CET 2017
IPC: C25D 11/02
C25D 11/12
C25D 11/18
C25D 11/26
C25D 11/30
C25D 11/34
C25D 11/06
C25D 11/08
Applicants: MKS INSTRUMENTS, INC.
Inventors: TAI, Chiu-Ying
GUPTA, Atul
WENZEL, Kevin
STANTON, Glenn
Title: REVÊTEMENT D'OXYDE PROTECTEUR À CONCENTRATIONS RÉDUITES EN MÉTAL
Abstract:
Cette invention concerne un procédé de création d'une couche d'oxyde protectrice sur une surface d'une structure métallique destinée à être utilisée dans un système de traitement de semi-conducteurs. Le procédé comprend la fourniture de la structure métallique, l'anodisation de la surface de la structure métallique pour former une couche d'anodisation sur la surface, et la conversion, à l'aide d'un procédé d'oxydation électrolytique au plasma, d'au moins une partie de la couche d'anodisation pour former la couche d'oxyde protectrice.