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1. (WO2018128740) RÉDUCTION DE LA PUISSANCE OPTIQUE D'UN FAISCEAU LUMINEUX RÉFLÉCHI

Pub. No.:    WO/2018/128740    International Application No.:    PCT/US2017/064555
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 05 00:59:59 CET 2017
IPC: G02B 27/42
G02B 27/09
H01S 3/00
H01S 3/10
H05G 2/00
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: CONKLIN, Philip, M
STINSON, Cory, Alan
Title: RÉDUCTION DE LA PUISSANCE OPTIQUE D'UN FAISCEAU LUMINEUX RÉFLÉCHI
Abstract:
Selon la présente invention, un système destiné à une source de lumière ultraviolette extrême (EUV) comprend un système de génération de lumière configuré pour émettre au moins un faisceau lumineux sur un trajet de faisceau ; au moins un amplificateur optique, chacun desdits amplificateurs comprenant un milieu de gain sur le trajet de faisceau, chaque milieu de gain étant configuré pour amplifier lesdits faisceaux lumineux afin de produire au moins un faisceau lumineux amplifié ; et au moins un élément optique de diffraction sur le trajet de faisceau, chacun desdits éléments optiques de diffraction comprenant une pluralité de longueurs focales, et chaque longueur focale de l'élément optique de diffraction étant associée à un état de polarisation particulier.