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1. (WO2018128235) DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE POUR LA GÉNÉRATION DE PLASMA

Pub. No.:    WO/2018/128235    International Application No.:    PCT/KR2017/007903
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jul 22 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/32
H05H 1/46
Applicants: MEDIPL CO., LTD.
주식회사 메디플
Inventors: PARK, Seung Jin
박승진
KWON, Soon Ku
권순구
Title: DISPOSITIF D'ALIMENTATION ÉLECTRIQUE POUR LA GÉNÉRATION DE PLASMA
Abstract:
L'invention concerne un dispositif d'alimentation électrique pour la génération de plasma, à savoir un dispositif d'alimentation électrique pour la génération de plasma qui fournit un signal haute fréquence amplifié pour disposer de l'énergie destinée à la génération de plasma, ce dispositif d'alimentation électrique comprenant : un générateur de fréquence destiné à générer un signal possédant une fréquence du signal haute fréquence ; un amplificateur de puissance destiné à amplifier la puissance du signal généré par le générateur de fréquence, et fournir celui-ci à une borne de sortie du dispositif d'alimentation électrique ; un capteur de puissance destiné à détecter une puissance directe fournie, de l'amplificateur de puissance à la borne de sortie, et une puissance réfléchie, d'une charge connectée à la borne de sortie vers la borne de sortie ; un comparateur de tension destiné à comparer la puissance directe et la puissance réfléchie détectée par le capteur de puissance, et à générer une valeur de comparaison correspondant à la grandeur de la puissance de transmission transférée du dispositif d'alimentation électrique à la charge ; et un comparateur de tension destiné à comparer la valeur de comparaison, générée par le comparateur de tension, à une valeur de tension de référence préconfigurée et, sur la base du résultat, à commander la grandeur d'un gain de l'amplificateur de puissance.