Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018128009) PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM DE TYPE À ENROULEMENT

Pub. No.:    WO/2018/128009    International Application No.:    PCT/JP2017/040975
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Nov 15 00:59:59 CET 2017
IPC: C23C 14/34
C23C 14/14
C23C 14/56
Applicants: ULVAC, INC.
株式会社アルバック
Inventors: HONMA, Hiroaki
本間 裕章
TAKAHASHI, Hirohisa
高橋 明久
HASEGAWA, Masaki
長谷川 正樹
Title: PROCÉDÉ DE FORMATION DE FILM ET DISPOSITIF DE FORMATION DE FILM DE TYPE À ENROULEMENT
Abstract:
Un mode de réalisation de la présente invention concerne un procédé de formation de film destiné à supprimer la déformation d'un substrat souple qui comprend un processus préliminaire dans lequel un récipient sous vide est évacué jusqu'à ce que la pression d'humidité à l'intérieur du récipient sous vide atteigne une valeur égale ou inférieure à une valeur cible. Un plasma est généré par application d'une tension alternative entre une première cible de chrome et une seconde cible de chrome disposées à l'intérieur du récipient sous vide. Une couche de chrome est formée sur une surface de formation de film d'un substrat souple disposé de façon à faire face à la première cible de chrome et à la seconde cible de chrome.