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1. (WO2018127973) SYSTÈME DE RECONNAISSANCE D'IMAGE DE PUCE MIROIR

Pub. No.:    WO/2018/127973    International Application No.:    PCT/JP2017/000279
Publication Date: Fri Jul 13 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Jan 07 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/301
H01L 21/66
Applicants: FUJI CORPORATION
株式会社FUJI
Inventors: IWASE, Tomonori
岩瀬 友則
MORISHITA, Masahiro
森下 正浩
Title: SYSTÈME DE RECONNAISSANCE D'IMAGE DE PUCE MIROIR
Abstract:
La présente invention concerne un système de reconnaissance d'image de puce miroir qui distingue et reconnaît, parmi une pluralité de puces (31) d'une tranche (30), une puce miroir exempte de motif et des puces sous une forme rectangulaire identique à celle d'une puce de production présentant un motif, d'une puce miroir ou d'une puce de production avec des puces. Le système de reconnaissance d'image de puce miroir comprend : une caméra (42) qui capture une image d'au moins une partie d'une tranche en vue ; et un dispositif de traitement d'image qui traite l'image capturée par la caméra et distingue et reconnaît la puce miroir exempte de puces parmi des puces dans l'image d'autres puces. Ce dispositif de traitement d'image acquiert des luminances d'au moins cinq zones comprenant des zones correspondant à quatre parties d'angle et la partie centrale de chaque puce dans l'image capturée par la caméra, détermine si les luminances desdites cinq zones peuvent être considérées comme uniformes et reconnaît une puce pour laquelle les luminances desdites cinq zones peuvent être considérées comme étant uniformes en tant que puce miroir exempte de puces.