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1. (WO2018126202) PROCÉDÉS POUR RÉDUIRE AU MINIMUM UN ENDOMMAGEMENT DE PAROIS LATÉRALES PENDANT DES PROCESSUS DE GRAVURE À FAIBLE CONSTANTE DIÉLECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2018/126202    International Application No.:    PCT/US2017/069075
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Dec 30 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 21/3065
Applicants: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
AIR LIQUIDE ELECTRONICS U.S. LP
HSU, Chih-Yu
SHEN, Peng
STAFFORD, Nathan
Inventors: HSU, Chih-Yu
SHEN, Peng
STAFFORD, Nathan
Title: PROCÉDÉS POUR RÉDUIRE AU MINIMUM UN ENDOMMAGEMENT DE PAROIS LATÉRALES PENDANT DES PROCESSUS DE GRAVURE À FAIBLE CONSTANTE DIÉLECTRIQUE
Abstract:
L'invention concerne des procédés pour réduire au minimum un endommagement de parois latérales pendant des processus de gravure à faible constante diélectrique. Les procédés mettent en œuvre la gravure des couches à faible constante diélectrique à l'aide de la vapeur activée par plasma d'un composé organofluoré ayant une formule choisie dans le groupe constitué par N≡C-R ; (NΞC-)-(R)-(-C≡N) ; Rx[-C=N(Rz)]y ; et R(3-a)-N-Ha, où a = 1-2, x = 1-2, y = 1-2, z = 0-1, x + z = 1-3, et chaque R a indépendamment la formule HaFbCc avec a = 0-11, b = 0-11, et c = 0-5.