Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018125635) COURBAGE DE TRANCHES SEMICONDUCTRICES

Pub. No.:    WO/2018/125635    International Application No.:    PCT/US2017/067012
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Tue Dec 19 00:59:59 CET 2017
IPC: H01L 31/18
H01L 21/677
H01L 21/68
H01L 31/042
Applicants: SUNPOWER CORPORATION
Inventors: ABAS, Emmanuel, Chua
Title: COURBAGE DE TRANCHES SEMICONDUCTRICES
Abstract:
La présente invention concerne des procédés de traitement de tranches semiconductrices, des procédés de chargement de tranches semiconductrices dans des supports de tranche, et des supports de tranche semiconductrice. Les procédés et les supports de tranche peuvent être utilisés pour augmenter la rigidité de tranches, par exemple, de grandes tranches et de tranches minces, en courbant intentionnellement les tranches dans une mesure qui ne casse pas les tranches. Dans certains exemples, un procédé de traitement de tranches semiconductrices consiste à : charger chaque tranche semiconductrice dans une fente de tranche semiconductrice respective d'un support de tranche semiconductrice, courber de manière horizontale chaque tranche semiconductrice, et déplacer le support de tranche semiconductrice dans une station de traitement et traiter les tranches semiconductrice au niveau de la station de traitement tandis que les tranches semiconductrices sont chargées dans le support de tranche semiconductrice et courbées horizontalement.