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1. (WO2018125414) PROCÉDÉS ET APPAREIL PERMETTANT UNE RÉPÉTABILITÉ DE DÉTECTION DE DÉBIT AMÉLIORÉE DE RÉGULATEURS DE DÉBIT MASSIQUE THERMIQUES (MFC)

Pub. No.:    WO/2018/125414    International Application No.:    PCT/US2017/061862
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 16 00:59:59 CET 2017
IPC: G05D 7/06
G01F 1/76
G01F 15/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: XU, Ming
KOSHTI, Sushant S.
RICE, Michael R.
BABAYAN, Steven E.
SUN, Jennifer Y.
Title: PROCÉDÉS ET APPAREIL PERMETTANT UNE RÉPÉTABILITÉ DE DÉTECTION DE DÉBIT AMÉLIORÉE DE RÉGULATEURS DE DÉBIT MASSIQUE THERMIQUES (MFC)
Abstract:
La présente invention porte sur un système de fabrication de dispositif électronique, comprenant un régulateur de débit massique (MFC) qui comporte un capteur de débit thermique. Le capteur de débit thermique peut mesurer un débit massique et comprendre un tube de capteur doté d'une surface interne revêtue d'un matériau de façon à former une couche barrière interne. La couche barrière interne permet d'empêcher ou de réduire sensiblement le risque qu'une réaction corrosive se produise sur la surface interne, ce qui permet d'empêcher ou de réduire le risque d'une dérive du MFC au-delà des spécifications de précision de débit massique du MFC. Ceci peut améliorer la répétabilité de détection de débit par le MFC. La présente invention porte également sur des procédés de mesure et de commande d'un débit massique dans un système de fabrication de dispositif électronique, ainsi que sur d'autres aspects.