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1. (WO2018125142) COUCHES DE PROTECTION POUR JONCTIONS TUNNEL MAGNÉTIQUES

Pub. No.:    WO/2018/125142    International Application No.:    PCT/US2016/069222
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 30 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 43/02
H01L 43/08
H01L 43/10
H01L 43/12
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: O'BRIEN, Kevin P.
CLENDENNING, Scott B.
OGUZ, Kaan
DOCZY, Mark L.
DOYLE, Brian S.
RAHMAN, Tofizur
WIEGAND, Christopher J.
GOLONZKA, Oleg
GHANI, Tahir
Title: COUCHES DE PROTECTION POUR JONCTIONS TUNNEL MAGNÉTIQUES
Abstract:
Des modes de réalisation de la présente invention décrivent des techniques pour un dispositif à semiconducteur, qui comprend une électrode inférieure, et un pilier MTJ au-dessus de l'électrode inférieure, le pilier MTJ comprenant un empilement MTJ ayant une couche libre et une couche de référence, et une électrode supérieure au-dessus de l'empilement MTJ. Une partie d'une surface de l'électrode inférieure ne chevauche pas le pilier MTJ. Le dispositif peut en outre comprendre une couche de recouvrement diélectrique hermétique qui recouvre de manière conforme le pilier MTJ et la partie de la surface de l'électrode inférieure. La couche de recouvrement diélectrique hermétique peut être une couche de protection formée à des températures inférieures sans affecter négativement les performances de l'empilement MTJ protégé. D'autres modes de réalisation peuvent être décrits et/ou revendiqués.