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1. (WO2018125124) CRÉATION DE FILMS DIÉLECTRIQUES DE CASQUE À L'AIDE D'UN DÉPÔT DE GAZ PULSÉ

Pub. No.:    WO/2018/125124    International Application No.:    PCT/US2016/069145
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Fri Dec 30 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 21/768
H01L 21/02
H01L 21/205
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: BIELEFELD, Jeffery D.
LIN, Kevin
Title: CRÉATION DE FILMS DIÉLECTRIQUES DE CASQUE À L'AIDE D'UN DÉPÔT DE GAZ PULSÉ
Abstract:
L'invention concerne un appareil qui comprend : un substrat de circuit semiconducteur, une pluralité de couches d'interconnexion sur différents plans sur le substrat, une pluralité de traces métalliques dans une première couche parmi la pluralité de couches d'interconnexion, un film diélectrique de casque sur les traces métalliques, le film diélectrique de casque comprenant une première épaisseur sur une partie supérieure des traces métalliques et une seconde épaisseur sur les parois latérales des traces métalliques, la première épaisseur étant supérieure à la seconde épaisseur, et un matériau diélectrique intercouche adjacent au film diélectrique de casque. L'invention se rapporte également à d'autres modes de réalisation.