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1. (WO2018120809) LIQUIDE DE POLISSAGE MÉCANO-CHIMIQUE POUR L'APLANISSEMENT DE COUCHE BARRIÈRE

Pub. No.:    WO/2018/120809    International Application No.:    PCT/CN2017/094313
Publication Date: Fri Jul 06 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Jul 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: C09G 1/02
Applicants: ANJI MICROELECTRONICS TECHNOLOGY (SHANGHAI) CO., LTD.
安集微电子科技(上海)股份有限公司
Inventors: PAN, Yijun
潘依君
JING, Jianfen
荆建芬
YAO, Ying
姚颖
DU, Lingxi
杜玲曦
YANG, Junya
杨俊雅
ZHANG, Jian
张建
CAI, Xinyuan
蔡鑫元
SONG, Kai
宋凯
WANG, Yuchun
王雨春
Title: LIQUIDE DE POLISSAGE MÉCANO-CHIMIQUE POUR L'APLANISSEMENT DE COUCHE BARRIÈRE
Abstract:
La présente invention concerne un liquide de polissage mécano-chimique pour l'aplanissement d'une couche barrière, comportant: des particules abrasives, un composé azole, un agent complexant, un tensioactif non ionique et un agent oxydant. Le tensioactif non ionique est du polyéthylèneglycol. Le liquide de polissage mécano-chimique a un taux d'élimination élevé pour des matériaux de couche barrière et de couche diélectrique dans des conditions douces, possède un taux d'élimination ajustable pour des matériaux à faible constante diélectrique et le cuivre, peut efficacement contrôler la génération de bombage, l'érosion de couche diélectrique et l'érosion métallique lors du processus de polissage, peut réduire des contaminants de surface, et présente par conséquent une excellente perspective d'application de marché.