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1. (WO2018120807) LIQUIDE DE POLISSAGE MÉCANO-CHIMIQUE ET APPLICATIONS
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N° de publication : WO/2018/120807 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/094303
Date de publication : 05.07.2018 Date de dépôt international : 25.07.2017
CIB :
C23F 3/04 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
F
ENLÈVEMENT NON MÉCANIQUE DE MATÉRIAU MÉTALLIQUE DES SURFACES; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; MOYENS POUR EMPÊCHER L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL; PROCÉDÉS À ÉTAPES MULTIPLES POUR LE TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES UTILISANT AU MOINS UN PROCÉDÉ COUVERT PAR LA CLASSE C23 ET AU MOINS UN PROCÉDÉ COUVERT SOIT PAR LA SOUS-CLASSE C21D, SOIT PAR LA SOUS-CLASSE C22F, SOIT PAR LA CLASSE C25308
3
Brillantage des métaux par des moyens chimiques
04
Métaux lourds
Déposants : ANJI MICROELECTRONICS TECHNOLOGY (SHANGHAI) CO., LTD.[CN/CN]; T6-9, No. 5001, Huadong Road, Shanghai Jinqiao Export Processing Zone (South Zone), Pudong New Area Shanghai 201201, CN
Inventeurs : ZHANG, Jian; CN
JING, Jianfen; CN
YANG, Junya; CN
SONG, Kai; CN
CAI, Xinyuan; CN
YAO, Ying; CN
PAN, Yijun; CN
DU, Lingxi; CN
WANG, Chunmei; CN
WANG, Yuchun; CN
Mandataire : BEIJING DACHENG LAW OFFICES, LLP; 15th/16th Floor, Shanghai Tower, 501 Yincheng Road (M), Pudong New Area Shanghai 200120, CN
Données relatives à la priorité :
201611231317.128.12.2016CN
Titre (EN) CHEMICAL MECHANICAL POLISHING LIQUID AND APPLICATIONS THEREOF
(FR) LIQUIDE DE POLISSAGE MÉCANO-CHIMIQUE ET APPLICATIONS
(ZH) 一种化学机械抛光液及其应用
Abrégé :
(EN) A chemical mechanical polishing liquid comprising abrasive particles, a corrosion inhibitor, a complexing agent, an oxidizing agent, and at least one polyacrylic anionic surfactant. Also disclosed are applications of the chemical mechanical polishing liquid in polishing copper metal.
(FR) L'invention concerne un liquide de polissage mécano-chimique comprenant des particules abrasives, un inhibiteur de corrosion, un agent complexant, un oxydant et au moins un tensioactif anionique polyacrylique. L'invention concerne également des applications du liquide de polissage mécano-chimique dans le polissage de métaux cuprifères.
(ZH) 一种化学机械抛光抛光液,包括研磨颗粒,腐蚀抑制剂,络合剂,氧化剂,和至少一种聚丙烯酸类阴离子表面活性剂。还公开了一种化学机械抛光液在金属铜的抛光中的应用。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)