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1. (WO2018120481) APPAREIL DE FABRICATION DE PLAQUE D'ÉCRAN À ÉCRITURE DIRECTE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
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N° de publication : WO/2018/120481 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/079183
Date de publication : 05.07.2018 Date de dépôt international : 01.04.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
江苏友迪激光科技有限公司 JIANGSU GIS LASER TECHNOLOGIES INC. [CN/CN]; 中国江苏省徐州市丰县经济开发区高新技术产业园5号标准厂房 5, Fengxian Industry Park Xuzhou, Jiangsu 221700, CN
Inventeurs :
马迪 MA, Lloyd; CN
吴景舟 WU, Jingzhou; CN
Mandataire :
北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙) BEIJING HUIJIE INTELLECTUAL PROPERTY FIRM (ORDINARY PARTNERSHIP); 中国北京市 丰台区菜户营58号财富西环大厦15B07 Room 15B07, 15th Floor West Wealth Building, No.58 Caihuying, FengTai District Beijing 100054, CN
Données relatives à la priorité :
201611267959.731.12.2016CN
Titre (EN) DIRECT-WRITE SCREEN PLATEMAKING APPARATUS AND USE METHOD THEREFOR
(FR) APPAREIL DE FABRICATION DE PLAQUE D'ÉCRAN À ÉCRITURE DIRECTE ET SON PROCÉDÉ D'UTILISATION
(ZH) 一种直写式丝网制版设备及其使用方法
Abrégé :
(EN) A direct-write screen platemaking apparatus and a use method therefor. The direct-write screen platemaking apparatus and a focal plane control method utilize a Z-axis controller (7) to pre-establish a mapping relation between a focal plane position of a scan region that needs to be scanned in a next step and a position signal of a scan platform (2-2) and, when scanning in the next step, adjust the position of an optical lens (8) on the basis of the mapping relation, thus preventing the problem of inconsistency between a measured focal plane and an actual focal plane caused by a position deviation between an equipped displacement sensor (10) and the optical lens (8). Also provided are a method for utilizing an area of interest for exposure and a method for in-line real-time optical evenness compensation, solving the problem with service life extension for a digital micromirror device (6) and uneven distribution of energy output on the digital micromirror device (6).
(FR) L'invention concerne un appareil de fabrication de plaque d'écran à écriture directe et procédé d'utilisation de ce dernier. L'appareil de fabrication de plaque d'écran à écriture directe et le procédé de commande de plan focal utilisent un dispositif de commande d'axe Z (7) pour pré-établir une relation de mappage entre une position de plan focal d'une région de balayage devant être balayée dans une étape suivante et un signal de position d'une plate-forme de balayage (2-2) et, lors du balayage à l'étape suivante, la position d'une lentille optique (8) est réglée sur la base de la relation de mappage, ce qui permet d'éviter le problème d'incohérence entre un plan focal mesuré et un plan focal réel provoqué par un écart de position entre un capteur de déplacement équipé (10) et la lentille optique (8). L'invention concerne également un procédé d'utilisation d'une zone d'intérêt pour une exposition et un procédé de compensation d'uniformité optique en temps réel en ligne, résolvant le problème avec l'extension de durée de vie de service d'un dispositif à micromiroir numérique (6) et une distribution irrégulière de sortie d'énergie sur le dispositif à micromiroir numérique (6).
(ZH) 一种直写式丝网制版设备及其使用方法,该直写式丝网制版设备和焦面控制方法利用一个Z轴控制器(7)预先建立下一步需要扫描的扫描带的焦面位置和扫描平台(2-2)位置信号之间的映射关系,在下一步扫描时,根据这个映射关系调整光学镜头(8)位置,避免了因装配位移传感器(10)和光学镜头(8)之间位置偏离而导致测量的焦面和实际焦面不一致的问题。还提供了一种利用感兴区域曝光的方法和一种在线实时光均匀性补偿的方法,解决了数字微镜器件(6)寿命延长和数字微镜器件(6)上能量输出分布不均匀的问题。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)