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1. (WO2018114152) CAPTEUR DE MÉTROLOGIE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIFS

Pub. No.:    WO/2018/114152    International Application No.:    PCT/EP2017/079345
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Nov 16 00:59:59 CET 2017
IPC: G03F 7/20
G03F 9/00
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: GOORDEN, Sebastianus, Adrianus
PANDEY, Nitesh
AKBULUT, Duygu
POLO, Alessandro
HUISMAN, Simon, Reinald
Title: CAPTEUR DE MÉTROLOGIE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIFS
Abstract:
L'invention concerne un système de capteur de métrologie, tel qu'un capteur de position. Le système comprend un système de collecte optique configuré pour collecter un rayonnement diffracté ou diffusé à partir d'une marque de métrologie sur un substrat, ledit rayonnement collecté comprenant au moins un signal sensible aux paramètres et un signal de bruit qui n'est pas sensible aux paramètres, un système de traitement servant à traiter le rayonnement collecté ; et un boîtier de module. Un guide optique est prévu pour guider ledit signal sensible aux paramètres, séparé du signal de bruit, du système de traitement à un système de détection à l'extérieur du boîtier. Un détecteur détecte ledit signal séparé sensible aux paramètres. Une obscuration pour bloquer un rayonnement d'ordre zéro et/ou un système optique de réduction peut être placée entre le guide optique et le détecteur.