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1. (WO2018113918) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION D’UNE COUCHE PHOTOSENSIBLE

Pub. No.:    WO/2018/113918    International Application No.:    PCT/EP2016/081888
Publication Date: Fri Jun 29 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Wed Dec 21 00:59:59 CET 2016
IPC: G02B 26/08
G03F 7/20
G03F 7/213
Applicants: EV GROUP E. THALLNER GMBH
Inventors: THALLNER, Bernhard
POVAZAY, Boris
Title: DISPOSITIF ET PROCÉDÉ D’EXPOSITION D’UNE COUCHE PHOTOSENSIBLE
Abstract:
La présente invention concerne un procédé d’exposition d’une couche photosensible (9) à l’aide d’un système optique (8), au moins un faisceau lumineux (6, 6') étant généré respectivement par au moins une source lumineuse (7) et des pixels (23) d’une matrice d’exposition (24, 24', 24", 24'") étant illuminés par au moins un dispositif de micromiroirs (1) doté d’une pluralité de micromiroirs (3), caractérisé en ce qu’il se produit une distorsion, notamment une distorsion affine, notamment un cisaillement, de la matrice d’exposition (24, 24', 24", 24"').