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1. (WO2018112172) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS MINCES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/112172 N° de la demande internationale : PCT/US2017/066352
Date de publication : 21.06.2018 Date de dépôt international : 14.12.2017
CIB :
H01L 21/027 (2006.01) ,H01L 21/67 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : MILLER, Keith A.; US
Mandataire : SERVILLA, Scott S.; US
Données relatives à la priorité :
15/840,21913.12.2017US
62/434,49815.12.2016US
Titre (EN) APPARATUS AND METHOD FOR PROCESSING THIN SUBSTRATES
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT DE SUBSTRATS MINCES
Abrégé : front page image
(EN) Processing methods and apparatus for thin substrates are disclosed. The methods and apparatus rotate a thin substrate without exposing the thin substrate to pressure gradients. The apparatus and method can be part of an integrated system for depositing films on both sides of the thin substrate.
(FR) L'invention concerne des procédés et un appareil de traitement de substrats minces. Les procédés et l'appareil font tourner un substrat mince sans exposer le substrat mince à des gradients de pression. L'appareil et le procédé peuvent faire partie d'un système intégré pour déposer des films sur les deux côtés du substrat mince.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)