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1. (WO2018111725) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR UNE VÉRIFICATION DE DÉBIT MASSIQUE À LARGE PLAGE
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N° de publication : WO/2018/111725 N° de la demande internationale : PCT/US2017/065405
Date de publication : 21.06.2018 Date de dépôt international : 08.12.2017
CIB :
G01F 25/00 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC.[US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810, US
Inventeurs : DING, Junhua; US
L'BASSI, Michael; US
COLE, Wayne; US
Mandataire : SMITH, James, M.; US
BROOK, David, E.; US
PIERCE, N., Scott; US
WAKIMURA, Mary, Lou; US
CARROLL, Alice, O.; US
Données relatives à la priorité :
15/380,68215.12.2016US
Titre (EN) METHODS AND APPARATUS FOR WIDE RANGE MASS FLOW VERIFICATION
(FR) PROCÉDÉS ET APPAREIL POUR UNE VÉRIFICATION DE DÉBIT MASSIQUE À LARGE PLAGE
Abrégé : front page image
(EN) A mass flow verifier (MFV) that is space-efficient and can verify flow rates for unknown fluids over a wide range of flow rates includes a chamber configured to receive a fluid, a critical flow nozzle connected to the chamber, and first and second pressure sensors that, respectively, detect fluid pressure in the chamber and upstream of the critical flow nozzle. A controller of the MFV is configured to verify flow rate of the fluid by, (i) at a first flow range, measuring a first flow rate based on a rate of rise in pressure of the fluid as detected by the first pressure sensor and determining a gas property function of the fluid based on pressures as detected by the first second pressure sensors, and (ii) at a second flow range, measuring a second flow rate based on pressure detected by the second pressure sensor and the determined gas property function.
(FR) La présente invention concerne un vérificateur de débit massique (MFV) qui est peu encombrant et qui peut vérifier les débits de fluides inconnus sur une grande plage de débits, le vérificateur comprenant une chambre conçue pour recevoir un fluide, une buse d'écoulement critique raccordée à la chambre, et un premier et un second capteur de pression qui, respectivement, détectent la pression du fluide dans la chambre et en amont de la buse d'écoulement critique. Un dispositif de commande du MFV est conçu pour vérifier le débit du fluide par, (i) dans une première plage d'écoulement, la mesure d'un premier débit sur la base d'une vitesse d'augmentation de la pression du fluide, telle que détectée par le premier capteur de pression, et la détermination d'une fonction de propriété de gaz du fluide sur la base des pressions détectées par les premiers seconds capteurs de pression, et (ii) dans une seconde plage d'écoulement, la mesure d'un second débit sur la base d'une pression détectée par le second capteur de pression et de la fonction de propriété de gaz déterminée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)