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1. (WO2018111250) SUPPRESSION DE FUITE DE SOUS-AILETTE À L'AIDE D'UNE CHARGE FIXE

Pub. No.:    WO/2018/111250    International Application No.:    PCT/US2016/066436
Publication Date: Fri Jun 22 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Thu Dec 15 00:59:59 CET 2016
IPC: H01L 29/78
H01L 29/66
Applicants: INTEL CORPORATION
Inventors: MA, Sean T.
LILAK, Aaron D.
WEBER, Justin R.
KENNEL, Harold W.
RACHMADY, Willy
DEWEY, Gilbert W.
HUANG, Cheng-Ying
METZ, Matthew V.
KAVALIEROS, Jack T.
MURTHY, Anand S.
GHANI, Tahir
Title: SUPPRESSION DE FUITE DE SOUS-AILETTE À L'AIDE D'UNE CHARGE FIXE
Abstract:
La présente invention concerne des agencements de transistors à trois grilles, et des dispositifs et des procédés associés. Par exemple, dans certains modes de réalisation, un agencement de transistors peut comprendre un empilement d'ailettes conçu sous la forme d'une ailette s'étendant à l'opposé d'une base, et un empilement diélectrique de sous-ailette. L'ailette comprend une partie sous-ailette et une partie canal, la partie sous-ailette étant plus proche de la base que la partie canal. L'empilement diélectrique de sous-ailette comprend un matériau diélectrique de transistor, et un matériau de revêtement à charge fixe disposé entre le matériau diélectrique de transistor et la partie sous-ailette de l'ailette.